各类真空计性能及参数
2024.06.21
各类真空计性能及参数
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真空计原理 |
名称 |
量程Pa |
精度 |
反应时间 |
备注 |
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力 |
重力 |
液体真空计 |
汞柱压力计 |
105~102 |
10% |
几秒 |
① |
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基准汞柱压力计 |
104~10(10-1) |
||||||
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油柱压力计 |
103~10 |
1% |
几秒至几分 |
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基准油柱压力计 |
102~10-2(10-3) |
||||||
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压缩式真空计 |
103~10-1(10-6) |
＜3% |
几分 |
①④ |
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机械力 |
变形计 |
弹簧管真空计 |
105~103 |
10% |
几秒 |
① |
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膜盒真空计 |
105~102 |
＜10% |
几秒 |
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薄膜电容真空计 |
103~10-2 |
＜1% |
＜1s |
② |
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薄膜应变真空计 |
105~102 |
① |
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阻尼力 |
黏滞计 |
振幅衰减真空计 |
1~10-3 |
10%-100% |
几秒 |
- |
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磁悬转子真空计 |
1~10-4 |
- |
- |
- |
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振膜真空计 |
104~10-1 |
≤±2% |
＜1s |
- |
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分子力 |
热辐射真空计 |
1~10-5 |
＜10% |
几秒至几十秒 |
② |
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气体分子热传导（热传导真空计） |
电阻真空计 |
102~10-1(10-2) |
10%~100% |
定温型约1s |
③ |
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热偶真空计 |
102~10-1 |
几秒 |
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半导体真空计 |
102~10-3 |
几秒 |
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热电堆真空计 |
102~10-1 |
- |
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气体对流 |
对流真空计 |
105~102 |
- |
- |
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气体电离 |
荷能粒子 |
热阴计 |
电离真空计 |
10-1~10-5 |
10%~20% |
10-3s |
③ |
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中真空电离真空计 |
102~10-4 |
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B-A电离真空规 |
10-1~10-8 |
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热阴磁控计 |
10-5~10-11(10-13) |
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放射源（α）电离真空计 |
104(105)~10-1 |
10% |
0.1s |
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自持放电 |
冷阴计 |
潘宁计 |
1~10-4 |
20%~50% |
0.1s |
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反磁控真空计 |
10-2~10-9(10-11) 10~10-3 |
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正磁控真空计 |
10-2~10-8 102~10-3 |
||||||
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放电管真空计 |
102~10-1 |
- |
＜1s |
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